硅片被固定在步进扫描平台上,而平台以纳米级的精确度缓缓移动,将整个图案逐步曝光在硅片表面。
“光学投影系统运行正常,误差小于o微米。”
系统的冷静提示音在小世界中回荡。
许志远盯着屏幕上的参数,嘴角微微上扬。
这台光刻机的性能已经出了他的预期。
光刻工艺的第一步是将电路图案通过曝光转移到硅片上。
许志远从小世界的材料库中取出一片原始硅片,将其涂上一层均匀的光刻胶,放在光刻机的步进扫描平台上。
“曝光完成,下一步进行显影。”
系统提示音响起。
许志远将曝光后的硅片取下,小心翼翼地放入显影槽中。
显影液是他根据配方自行调配的,能够将光刻胶中被曝光的部分溶解,留下未曝光的部分作为掩膜。
显影完成后,一块布满精细电路图案的硅片呈现在他面前。
许志远仔细检查了硅片表面,确认图案清晰且没有明显的缺陷。
“接下来是刻蚀。”
他低声自语,随即将硅片放入等离子刻蚀机中。
刻蚀工艺是光刻机之后的关键步骤,通过化学反应将硅片表面未被掩膜保护的部分去除,形成真正的电路结构。
这一步需要极高的精确度,否则会导致整个芯片报废。
等离子刻蚀机运转时,出轻微的嗡鸣声。
许志远盯着屏幕上的实时数据,手指不时在控制面板上调整参数。
几分钟后,刻蚀完成,硅片被取出。
“刻蚀完成,表面结构清晰,电路完整。”
系统再次给出了正面反馈。
接下来是掩膜的去除和金属化工艺。
许志远将硅片放入化学槽中去除光刻胶,然后通过金属沉积技术为电路铺设导电层。
经过一系列复杂的工艺之后,第一片芯片终于完成。
许志远小心翼翼地将芯片装载到测试平台上,连接好电源和测试设备。
他设计的这片芯片是一个简单的逻辑电路,用于验证光刻机的精度和工艺的完整性。
如果这片芯片能够正常运行,就意味着他的光刻机完全达标。
“系统,启动测试程序。”
许志远屏住呼吸,目不转睛地盯着屏幕。
测试仪器开始工作,芯片的电路被逐一检测,测试数据实时显示在屏幕上。
“输入信号正常……输出信号正常……逻辑运算正确……功耗符合预期……”
系统的提示音一项接一项地响起。
终于,屏幕上出现了一行大字:
“芯片功能测试通过!”
许志远整个人僵住了,随即长长地吐出一口气,脸上露出了掩饰不住的笑容。
他握紧拳头,忍不住低声喊了一句:“成了!
真的成了!”
他激动地站起来,绕着光刻机转了一圈,双手撑在机器上,脸上写满了激动和满足。
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